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MEMS Tunneling Accelerometer

发明者

Hector J. De Los Santos, Farrokh Mohamadi

发表日期

2010/6/29

专利局

专利申请号

12826605

引用总数

201420152016201720182019202020212022202320241 1 14 13 2 5 3 8 11 2 2

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