Micro-electro-mechanical system (mems) variable capacitor apparatuses and related methods
发明者
Hector J. De Los Santos
发表日期
2003/6/13
专利局
WO
专利申请号
PCT/US2003/018662
引用总数
20062007200820092010201120122013201420152016201720182019202020212022249347136210696671
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J Hector - US Patent 6,897,537, 2005