MEMS tunneling accelerometer
发明者
Hector J. De Los Santos, Farrokh Mohamadi
发表日期
2014/6/10
专利局
US
专利号
8746067
专利申请号
13/736,853
引用总数
2014201520162017201820192020202120222023202411141325381122
学术搜索中的文章
J Hector, F Mohamadi - US Patent 8,347,720, 2013
J Hector, F Mohamadi - US Patent 8,746,067, 2014