作者
André Fekecs
发表日期
2015
机构
Université de Sherbrooke, Québec, Canada (http://hdl.handle.net/11143/6840)
简介
Cette thèse décrit l'incorporation de fer dans l'hétérostructure InGaAsP/InP par implantation ionique à haute énergie (MeV) suivi d'un recuit thermique rapide. L'alliage quaternaire InGaAsP est tout indiqué pour fabriquer des couches photoconductrices qui peuvent absorber dans le proche-infrarouge, à 1.3♯ m ou 1.55♯ m. Ce procédé vise à développer de nouveaux matériaux de forte résistivité pour l'holographie photoréfractive et la spectroscopie térahertz pulsée. À notre connaissance, cette investigation représente les premiers essais détaillés de l'implantation de fer dans le matériau InGaAsP/InP. Les principaux paramètres de fabrication, tels la fluence d'ions de fer, la température d'implantation et la température de recuit ont été explorés. Les propriétés physiques des matériaux produits ont été étudiées avec des mesures électriques (résistivité et effet Hall avec l'analyse de Van der Pauw), optiques (photoluminescence, absorption et réflectivité différentielle résolue en temps) et structurales (diffraction de rayons X, canalisation de la rétrodiffusion Rutherford et microscopie électronique en transmission). Pour fabriquer des couches à forte résistivité pour des applications holographiques à 1.3♯ m, nos résultats ont montré qu'il est préférable d'éviter l'amorce de l'amorphisation lors de l'implantation du quaternaire pour maintenir une bonne qualité cristalline après recuit. Ceci favoriserait une compensation par l'activation du fer comme impureté profonde. Une résistivité de l'ordre de 10 [indice supérieur 4] Ωcm est mesurée après recuit. Pour fabriquer des couches à forte résistivité pour des applications de spectroscopie térahertz pulsée à 1.55♯ …
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