查看文章

Виробництво кремнієвих пластин включає наступні стадії:–отримання монокристалічного кремнію;–механічна і хіміко-механічна обробка кремнієвих злитків і пластин. Особливості механічної обробки кремнієвих пластин визначаються високою твердістю і крихкістю кремнію. Тому обробку ведуть з використанням абразивів як у зв'язаному стані (алмазні диски і шліфувальні), так і у вільному (абразивні суспензії і алмазні пасти)[1]. В даній роботі пропонується вдосконалення методу шліфування деталей за рахунок поєднання операцій контролю шорсткості та безпосередньо операції шліфування. Загальна схема макету для автоматизації процесу шліфування показана на рисунку 1. До складу макету входять:

–електричний привід модуля позиціонування (1);–модуль точного позиціонування (2);–модуль контролю шорсткості із зондом (3);–інструмент для поліровки деталі (4);–рухоме коромисло (5).