Qi Xie

Qi Xie

Principal Scientist at ASM Corporate R&D
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被引用次数：15021
Semiconductor CMOS High k/Metal gate Epitaxy
Kisik Choi

Kisik Choi

IBM
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被引用次数：4193
CMOS technology finFET High-k/metal gate MOL BEOL
Ruqiang Bao

Ruqiang Bao

International Business Machine (IBM)
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被引用次数：3306
High K Metal Gate Thin Films Semiconductor Processing
Yun-Seok Kim

Yun-Seok Kim

Samsung Electronics
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被引用次数：1482
Foundry Logic Integration High-K/Metal Gate FinFET Gate All Around
Jeong-Min Lee

Jeong-Min Lee

Manager of Applied Materials Korea
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被引用次数：1126
Si FinFET Ultra Sallow Junction Advanced Contact Anneal Technology High-k Metal Gate
Kang-ill Seo

Kang-ill Seo

Samsung Electronics, Semiconductor R&D Center
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被引用次数：1055
CMOS platform High-k/Metal gate FinFET GAA-FETs
Xin Meng

Xin Meng

PhD, Electrical Engineering, The University of Texas at Dallas
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被引用次数：359
Atomic Layer Deposition Plasma-enhanced ALD Silicon nitride GaN HEMT & InGaAs MOSFET high-k metal gate