受强制性开放获取政策约束的文章 - MOHAMMED ZUBAIR M. SHAMIM了解详情
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In-process characterization tool for optically produced sub-100-nm structures
MZ Shaikh, S Kieß, M Grégoire, S Simon, A Tausendfreund, ...
Journal of Vacuum Science & Technology B 29 (5), 2011
强制性开放获取政策： German Research Foundation
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In-process measuring procedure for sub-100 nm structures
M Zimmermann, A Tausendfreund, S Patzelt, G Goch, S Kieß, MZ Shaikh, ...
Journal of Laser Applications 24 (4), 2012
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