Halbleiter sind Festkörper, deren elektrische Leitfähigkeit durch Elektronen und/oder
Defektelektronen zustande kommt und deren spezifischer elektrischer Widerstand bei …

Innovative Technologien für das Verkapseln von mikroelektromechanischen Systemen sind
unerlässlich, um eine hohe Zuverlässigkeit bei gleichzeitig steigender Integrationsdichte zu …

Innovative Technologien für das Verkapseln von mikroelektromechanischer Systeme sind
unerlässlich, um eine hohe Zuverlässigkeit bei gleichzeitig steigender Integrationsdichte zu …

Im Rahmen dieses Vorhabens wurden zwei verschiedene Reaktive Multischichtsysteme (RMS)
basierend auf dem Materialsystem Zr/Si mit Al-Barriereschichten entwickelt und optimiert…

… diesem Beitrag wird ein Konzept durch eine Fusion innovativer Sensorkonzepte auf Basis
der Mikrosystemtechnik eine in situ-Qualitätsbeurteilung des Schleifprozesses vorgestellt. Die …

… Meine Arme und Beine hat er in einem spezialisierten Verfahren hergestellt, da sie für die
gängige Mikrosystemtechnik zu klein sind. Sie sind aus Titan, wie der Rest meines Körpers. …

… Mikrosystemtechnik (MST) gilt als eine der Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts. …
Die Ausbildung in der Mikrosystemtechnik ist komplex und hochgradig interdisziplinär. Neben …

… Mikrosystemtechnik und Optik … Mikrosystemtechnik und Optik … Zunächst wird der
Begriff Mikrosystemtechnik bestimmt und im Zusammenhang mit verwandten Themen …

The production of thick AI layers at moderate temperatures is of great interest for many
applications. In this paper the galvanic deposition ofaluminium for printed circuit board and …

Um die Vorteile der elektrischen und optischen Domäne in neuen Anwendungsfeldern zu
verbinden, wurde mit dem For-Lab HELIOS in Hamburg ein neuer kooperativer …