[PDF][PDF] X 波段MEMS 膜开关的阻抗分析模型

郑惟彬, 黄庆安, 廖小平, 李拂晓 - 电子学报, 2003 - ejournal.org.cn
射频微机械(RF MEMS) 开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用
前景. 但是目前对微机械开关的研究主要都集中在开关梁的结构设计和力学分析上 …

[PDF][PDF] X 波段MEMS 膜开关的阻抗分析模型

郑惟彬, 黄庆安, 廖小平, 李拂晓 - 电子学报, 2003 - ejournal.org.cn
射频微机械(RF MEMS) 开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用
前景. 但是目前对微机械开关的研究主要都集中在开关梁的结构设计和力学分析上 …