This thesis is focused on the monolithic integration of microresonators in a commercial CMOS technology, AMS-0.35 µm, by using the standard layers of the process. The structures …
Aquesta tesi doctoral te com a objectiu fonamental la integració monolítica de microressonadors en una tecnologia comercial, AMS 0.35 um, tot utilitzant les capes …
Aquesta tesi doctoral te com a objectiu fonamental la integració monolítica de microressonadors en una tecnologia comercial, AMS 0.35 um, tot utilitzant les capes …