三維電晶體之自發熱效應及三維積體電路穿矽連通柱之應變/應力

顏智洋 - 2018 - tdr.lib.ntu.edu.tw
本篇論文之目的為對三維電晶體之自發熱效應及三維積體電路穿矽連通柱造成之截止區提出
模型並驗證. 三維電晶體相比平面電晶體能提供更好的電性表現, 然而單位面積功率的提高 …