[HTML][HTML] 硅薄膜及其光学特性研究进展
邱美叶， 孔惠颖， 郑照轩， 孙康迅， 熊佳怡… - Advances in Material …, 2023 - hanspub.org
本文主要介绍了硅薄膜的分类, 及其硅薄膜制备的研究现况及进展. 硅是最重要的半导体材料之
一, 如今在太阳能电池和集成电路领域有着广泛的应用, 硅膜可分为非晶硅, 多晶硅 …
一, 如今在太阳能电池和集成电路领域有着广泛的应用, 硅膜可分为非晶硅, 多晶硅 …
[PDF][PDF] 硅薄膜及其光学特性研究进展
邱美叶， 孔惠颖， 郑照轩， 孙康迅， 熊佳怡， 王淼， 王婧… - 2023 - pdf.hanspub.org
摘要本文主要介绍了硅薄膜的分类, 及其硅薄膜制备的研究现况及进展. 硅是最重要的半导体
材料之一, 如今在太阳能电池和集成电路领域有着广泛的应用, 硅膜可分为非晶硅, 多晶硅 …
材料之一, 如今在太阳能电池和集成电路领域有着广泛的应用, 硅膜可分为非晶硅, 多晶硅 …