Влияние приповерхностного слоя на электрохимическое осаждение металлов и полупроводников в мезопористый кремний

ЕБ Чубенко, СВ Редько, АИ Шерстнев… - Физика и техника …, 2016 - mathnet.ru
ЕБ Чубенко, СВ Редько, АИ Шерстнев, ВА Петрович, ДА Котов, ВП Бондаренко
Физика и техника полупроводников, 2016mathnet.ru
Проведены исследования влияния приповерхностного слоя на процесс
электрохимического осаждения металлов и полупроводников в пористый кремний.
Показано, что данный слой имеет отличные от основного объема пористого кремния
структуру и электрофизические характеристики. Установлено, что уменьшение
электропроводности кремниевых кристаллитов, образующих приповерхностный слой
пористого кремния, оказывает положительное влияние на процесс заполнения …
Аннотация
Проведены исследования влияния приповерхностного слоя на процесс электрохимического осаждения металлов и полупроводников в пористый кремний. Показано, что данный слой имеет отличные от основного объема пористого кремния структуру и электрофизические характеристики. Установлено, что уменьшение электропроводности кремниевых кристаллитов, образующих приповерхностный слой пористого кремния, оказывает положительное влияние на процесс заполнения пористого кремния металлами и полупроводниками, что продемонстрировано на примере никеля и оксида цинка. Это может быть использовано для создания нанокомпозитных материалов на основе пористого кремния и наноструктур с высоким аспектным соотношением.
mathnet.ru
以上显示的是最相近的搜索结果。 查看全部搜索结果

Google学术搜索按钮

example.edu/paper.pdf
搜索
获取 PDF 文件
引用
References