электрохимического осаждения металлов и полупроводников в пористый кремний.
Показано, что данный слой имеет отличные от основного объема пористого кремния
структуру и электрофизические характеристики. Установлено, что уменьшение
электропроводности кремниевых кристаллитов, образующих приповерхностный слой
пористого кремния, оказывает положительное влияние на процесс заполнения …