Представлены результаты исследований наноструктурных изменений, вызываемых воздействием электроискровых и упругих концентрированных воздействий на различные материалы, полученные методами атомно-силовой микроскопии. Обнаружено и изучено образование упорядоченных скоплений наночастиц наносимых материалов (меди и Al2O3 с размерами 30 и 50 нм, соответственно). Показано, что метод атомно-силовой микроскопии существенно дополняет структурные исследования, позволяя установить их взаимосвязь с эксплуатационными свойствами функциональных материалов.