En este trabajo se reportan mediciones eléctricas y electroquímicas obtenidas en sensores
químicos lSFET's fabricados con nitruro de silicio como material sensible al pH y se
presenta una breve introducción a sus principios de funcionamiento. Se describen las
técnicas de polarización utilizadas para la extracción de las curvas voltaje-corriente, la
sensibilidad química v el voltaje umbral. Además, se muestra el montaje experimental de un
sistema de detección por inyección de pulsos, el cual resultó funcional.