Observation of vacancy enhancement during rapid thermal annealing in nitrogen

M Jacob, P Pichler, H Ryssel, RJ Falster… - Solid State …, 1997 - Trans Tech Publ
Observation of Vacancy Enhancement during Rapid Thermal Annealing in Nitrogen …
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[引用][C] Observation of vacancy enhancement during rapid thermal annealing in nitrogen

D Yang, R Fan, Y Shen, D Tian, L Li, D Que - High Purity Silicon VI; SPJH V ECS Proc …, 2000
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