[PDF][PDF] 减少静电漂移的高可靠RF MEMS 开关研究

翟雷应, 张钰瑶, 刘文进, 南敬昌 - 电子测量与仪器学报, 2024 - jemi.cnjournals.com
RF MEMS 开关具有制作工艺简单, 易于集成等优点. 而目前由电介质膜电荷积累造成的静电
漂移及频繁机械碰撞导致严重的可靠性问题阻碍了其嵌入终端射频系统稳定性的提高 …

[引用][C] RF MEMS 开关的电磁性能仿真分析

赵治国, 马谢, 宋滔 - 压电与声光, 2018

[引用][C] RF MEMS 开关器件的制作及研究

孙建海 - 2006 - 中国科学院研究生院(电子学研究所)

[引用][C] 低驱动电压并联电容式RFMEMS 开关设计与优化[D]

白从凯 - 2009 - 济南: 山东大学

[引用][C] 低驱动电压RF MEMS 电容开关的设计

纪奎 - 2008 - 哈尔滨: 哈尔滨理工大学

[引用][C] 硅基共面波导RFMEMS 开关设计关键技术研究[D]

樊森 - 2014 - 北京邮电大学

[引用][C] 并联接触式射频MEMS 开关的研究[D]

魏华征 - 2004 - 华东师范大学

[引用][C] 静电驱动MEMS 微波开关设计与仿真

谢兴军 - 2004 - 重庆: 重庆大学

[引用][C] RF MEMS 开关及移相器的分析与设计

靳炉魁 - 2010 - 哈尔滨: 哈尔滨工业大学

[引用][C] 低驱动电压的RF MEMS 开关的设计与模拟

林丽华 - 2004 - 福州: 福州大学