[PDF] jos.ac.cn

[PDF][PDF] 悬臂式RF MEMS 开关的设计与研制

郭方敏， 赖宗声， 朱自强， 贾铭， 初建朋， 范忠， 朱荣锦… - 2003 - jos.ac.cn
介绍了一种制作在低阻硅(3~ 8Q· cm) 上的悬臂式RFMEMS 开关. 在Cr/AuCPW 共面波导上.
金/SiO. N,/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂, 静电受激作为开关机理. 当开关处于“关断” …
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[PDF] cnjournals.com

[PDF][PDF] 减少静电漂移的高可靠RF MEMS 开关研究

翟雷应， 张钰瑶， 刘文进， 南敬昌 - 电子测量与仪器学报, 2024 - jemi.cnjournals.com
RF MEMS 开关具有制作工艺简单, 易于集成等优点. 而目前由电介质膜电荷积累造成的静电
漂移及频繁机械碰撞导致严重的可靠性问题阻碍了其嵌入终端射频系统稳定性的提高 …
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[引用][C] 用于制备高机械可靠性RF MEMS 开关的新型工艺

胡光伟， 刘泽文， 侯智昊， 李志坚 - 光学精密工程, 2008
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[引用][C] DC~ 30GHz 并联接触式RF MEMS 开关的设计与制造

侯智昊， 刘泽文， 李志坚 - 光学精密工程, 2009
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[引用][C] RF MEMS 开关器件的制作及研究

孙建海 - 2006 - 中国科学院研究生院(电子学研究所)
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[引用][C] RF MEMS 开关在牺牲层工艺上的改进

蔡描， 郭兴龙， 刘蕾， 陈瑾瑾， 赖宗声 - 传感器与微系统, 2006
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[引用][C] RF MEMS 开关及移相器的分析与设计

靳炉魁 - 2010 - 哈尔滨: 哈尔滨工业大学
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[引用][C] 毫米波串联接触式RF MEMS 开关的设计与制造

侯智昊， 朱锋， 郁元卫， 朱健 - 固体电子学研究与进展, 2012
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[引用][C] 悬臂梁接触式RF-MEMS 开关的制作研究

孙建海， 崔大付， 王海宁， 王利， 徐磊， 苏波 - 微细加工技术, 2005
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[引用][C] 低驱动电压k 波段电容耦合式RF MEMS 开关的设计

刘佳， 高杨， 白竹川， 李仁锋 - 传感器与微系统, 2008
被引用次数：4 相关文章 所有 2 个版本