MEMS 与MEMS 光开关

梁宏军， 张兴社 - 应用光学, 2005 - yygx.xml-journal.net
微机电系统(MEMS) 技术是一种新型制造技术, 在光通信的发展中得到广泛的应用,
有极大的市场价值. 在整个光通信中, 光开关是较为重要的光无源器件, 在光网络系统中可对光 …
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MEMS 光开关技术的研究进展

葛峻， 秦明 - 2003 - chinaelectrondevices.seu.edu.cn
MEMS 光开关技术的研究进展-Recent Development of MEMS Optical Switches 首页 顾问委员
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[引用][C] MEMS/MOEMS 在光通信中的应用

李锋 - 光机电信息, 2002
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[引用][C] 全光通信用MEMS 光开关

李向东， 李福果， 龙再川， 王海卿 - 半导体光电, 2001
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[引用][C] MEMS 光开关研究

刘文芹 - 传感器世界, 2005
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[引用][C] 光学MEMS 技术及其光通信应用

吴亚明 - 功能材料与器件学报, 2013
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[引用][C] 一种静电MEMS 光开关的理论与实验研究

罗元， 张正元， 付红桥， 黄尚廉 - 微电子学, 2003
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[引用][C] 光开关的技术现状和展望

李洪涛， 何对燕 - 半导体技术, 2005
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[引用][C] MEMS 光开关及主要工艺技术的研究

罗元， 张毅， 黄尚廉 - 激光杂志, 2001
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[引用][C] 基于MEMS 技术的多通道光开关研究

李栋， 黎志刚， 李流超 - 轻工科技, 2014
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