而中频误差的存在对光学系统的性能造成了严重影响, 必须对其进行有效控制. 对常用的光栅轨迹和螺旋轨迹进行了研究, 发现规则的抛光轨迹导致卷积过程与实际去除过程不一致, 会引入对称的迭代误差, 而迭代误差是中频误差恶化的重要因素. 基于对光栅轨迹和螺旋轨迹的研究, 提出了一种变距螺旋矩阵轨迹优化方法, 以降低光学元件中频误差. 该轨迹通过打乱螺旋矩阵轨迹的螺距保留了光栅轨迹和螺旋轨迹简单易行的优点 …