Literatur Page 1 Literatur [ABF01] Aikele, M.; Bauer, K.; Ficker, W.; Neubauer, F.; Prechtel, U.;
Schalk, J.; Seidel H.: Resonant accelerometer with self-test. Sensors and Actuators A, 92 (2001) …

This paper presents a new temperature compensation technique for thermal flow sensors
that are operated in a constant-temperature-difference (CTD) mode by means of a simple …

In this paper, four different designs for a new three-axes monolithic low-g acceleration
sensor are presented. The silicon spring mass system of the sensor is fabricated in a single …

In this study, the impact of different tool geometries on the limiting drawing ratio (LDR) in
micro deep drawing was investigated. Experimental micro deep drawing tests to determine …

Die Mikrosystemtechnik unterstützt den Menschen bereits heute in vielen Bereichen des
alltäglichen Lebens; dabei ist er sich ihrer Wirkung allerdings kaum noch bewusst …

Single-cell analysis and manipulation methods are becoming increasingly important for
fundamental research, as well as practical applications, such as in vitro fertilization (IVF) and …

The promising mechanical properties of electrochemically deposited nickel‑cobalt alloys
(eNiCo) significantly depend on the resultant grain size. This study describes the influence …

Gegenstand der Arbeit ist die Konzeptbildung, Realisierung und Erprobung eines
neuartigen Eingabefeldes für technische Geräte. Im Vordergrund steht dabei die haptische …

In der vorliegenden Arbeit werden miniaturisierte piezoresistive Messelemente zur
Erfassung der Messgröße Dehnung entwickelt und charakterisiert. Die Anforderungen an …

The impact of acceleration and vibration loads on a piezoresistive pressure sensor and its
packaging components is investigated in some detail. For the sake of definiteness, sensor …