[图书][B] Mikrospezifischer Produktentwicklungsprozess (my PEP) für werkzeuggebundene Mikrotechniken

J Marz - 2005 - scholar.archive.org
In der sich dynamisch entwickelnden Schlüsseltechnologie der Mikrosystemtechnik wird seit
einigen Jahren das Miniaturisierungspotenzial werkzeuggebundener Mikrotechniken (WMT) …

[引用][C] Entwicklung piezoresistiver taktiler Sensoren für die Charakterisierung von Mikrokomponenten

A Phataralaoha - 2009 - Shaker

[PDF][PDF] Rechnergestützter Entwurf von piezoresistiven Silizium-Drucksensoren mit realem mechanischem Wandler

S Stavroulis - 2004 - tuprints.ulb.tu-darmstadt.de
Bei piezoresistiven Silizium-Druckmesselementen ruft die Messgröße Druck eine
Widerstandsänderung von dotierten Halbleiterwiderständen hervor. Die Funktion von …

[引用][C] Elektrische Messtechnik: Messung elektrischer und nichtelektrischer Größen

E Schrüfer, LM Reindl, B Zagar - 2022 - Carl Hanser Verlag GmbH Co KG

Piezoresistive pressure sensors

S Büttgenbach, I Constantinou, A Dietzel… - Case Studies in …, 2020 - Springer
Abstract Information about pressure and its measurement by means of pressure sensors is
interesting in many different application areas. Contemporary applications, as for example …

Biologisch inspirierte mikrotechnische Werkzeuge für die Mikromontage und die Minimal-Invasive Chirugie

F Qiao - 2003 - db-thueringen.de
Developing Microtechnical Tools with Bionic Inspiration for Micro Handling System and
Minimally Invasive Surgery" Nature finds the shape". The constructive properties of life …

Investigations of thermomechanical stress induced by TSV-middle (through-silicon via) in 3-D ICs by means of CMOS sensors and finite-element method

KA Ewuame, V Fiori, K Inal… - IEEE Transactions …, 2015 - ieeexplore.ieee.org
This paper aims at determining thermomechanical stress variations induced by annealed
copper filled through-silicon via (TSV) in single crystalline silicon using metal-oxide …

[PDF][PDF] Laserabtrag mit zeitlicher Modulation der Energiedeposition

C Hartmann - 2014 - core.ac.uk
Oberflächen mit Mikrostrukturen finden sich in vielen Einsatzgebieten, zB in der
Medizintechnik, Werkzeugtechnik oder Elektronik. Ein großes Anwendungsfeld sind …

[PDF][PDF] Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb

T Klose - 2016 - core.ac.uk
Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb Page
1 Technische Universität Dresden Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren …

Research on an ultra-low power thermoelectric-type anemometer

CH Shen, PH Lin, SJ Chen - IOP Conference Series: Materials …, 2018 - iopscience.iop.org
Beyond the conventional hot-wire sensor, a new thermoelectric sensor with ultra-low power
consumption without heating is proposed. Using the TSMC 0.35 um CMOS-MEMS process …