Zusammenfassung Mikro Elektro Mechanische Systeme (MEMS) sind heute aus dem Alltag
nicht mehr wegzudenken. Man findet sie ua in Airbag-und Reifendrucksystemen, in …

Abstract (DE) Die vorliegende Arbeit behandelt integrierte Hochvolt-Schaltungen für die
Ansteuerung elektrostatisch arbeitender Mikroaktoren und Mikroaktorarrays. Im Besonderen …

Faser-Kollimator-Arrays (FCAs) dienen der effizienten Kopplung von Licht in mehreren
parallelen Fasern bzw. der Kollimation des aus den Fasern divergent austretenden Lichts …

Within the realms of hearing loss and restorative technologies, developments of hearing
aids for conductive hearing loss are especially demanding. Due to the constant medical …

Flexographic printing is a common technique in the production of printed electronics. Its
flexible printing plates offer many advantages, especially regarding printing on rigid and …

Sacrificial layers are used in microelectronics and microsystems technology to form
freestanding functional elements, which are isolated thermally, electrically, or mechanically …

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu
ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs-und Integrationsverfahren …

The trend towards miniaturisation of metallic mass production components combined with
increased component functionality is still unbroken. Manufacturing these components by …

The continuous trend towards miniaturization of metallic micro parts of high quality at low
costs results in the need of appropriate production methods. Mechanical manufacturing …