Obwohl die Mikrosystemtechnik (MST) als „Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts
“bezeichnet wird, bleibt der erwartete Durchbruch noch aus. Der vorliegende Artikel geht auf …

Nearly all microelectromechanical systems nowadays include bipolar or metal oxide
semiconductor (MOS) transistors. Those micro-electro-mechanical systems experience …

Ausgehend von der Maskenherstellung und dem Aufbau von Fotolacken wird der Prozess
der Fotolithografie erläutert. Dabei werden optische Belichtungsverfahren hinsichtlich ihrer …

Im Folgenden präsentieren wir die Ergebnisse der thermodynamischen und strukturellen
Untersuchungen von n-Alkoholen im Bereich von Butanol bis Hexadekanol im bulk-Zustand …

Kurzreferat Die Dissertationsschrift stellt eine Toolkette zum abstrakten Entwurf von
Mikrosystemen vor. Mikrosysteme können aus Elementen verschiedener physikalischer …

Die Eigenschaften nasschemischer Ätzlösungen werden diskutiert. Um aktuelle
Strukturweiten zu erzielen, sind zusätzlich Trockenätzprozesse erforderlich, wobei zwischen …

In dieser Arbeit wurde ein Verfahren entwickelt, um ungehäuste High-Power-
Hochfrequenztransistoren in Kavitäten, die in einem Siliziumsubstrat erstellt wurden …

In den vergangenen Jahren war die Entwicklung von Mikroheizern ein sehr aktives Feld auf
dem Gebiet der Mikrosysteme. Schwerpunkt hierbei war vor allem die Realisierung von …

Mein besonderer Dank gilt Herrn Prof. Dr. rer. nat. S. Büttgenbach, dem Leiter des IMT, der
mir die Möglichkeit und die Freiräume gegeben hat, das dieser Arbeit zugrunde liegende …