[PDF][PDF] Etude, conception et réalisation en technologie MEMS d'un commutateur mécaniquement bistable
S DRAPIER, SE EMSE - researchgate.net
Dans cette partie, les différents phénomènes physiques qui permettent de mettre en
mouvement un MEMS sont explicités. On appelle «actionneur» la partie du MEMS à l'origine …
mouvement un MEMS sont explicités. On appelle «actionneur» la partie du MEMS à l'origine …
[PDF][PDF] Etude, conception et réalisation en technologie MEMS d'un commutateur mécaniquement bistable
S DRAPIER, SE EMSE - core.ac.uk
Dans cette partie, les différents phénomènes physiques qui permettent de mettre en
mouvement un MEMS sont explicités. On appelle «actionneur» la partie du MEMS à l'origine …
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[PDF][PDF] Etude, conception et réalisation en technologie MEMS d'un commutateur mécaniquement bistable
S DRAPIER, SE EMSE - theses.hal.science
Dans cette partie, les différents phénomènes physiques qui permettent de mettre en
mouvement un MEMS sont explicités. On appelle «actionneur» la partie du MEMS à l'origine …
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