[PDF][PDF] 基于自学习非线性PID 的音圈电机精密定位系统
程苗苗， 翟朋辉， 张英杰， 李健， 冯凯 - 电工技术学报 - dgjsxb.ces-transaction.com
摘要基于音圈电机的精密宏微气浮运动系统, 是一种能克服接触摩擦和行程限制的新型精密定位
系统. 针对系统中用于精密定位的音圈电机受到内外扰动从而影响系统最终定位精度的问题 …
系统. 针对系统中用于精密定位的音圈电机受到内外扰动从而影响系统最终定位精度的问题 …
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程苗苗， 翟朋辉， 张英杰， 李健， 冯凯 - 电工技术学报 - dgjsxb.ces-transaction.com
摘要基于音圈电机的精密宏微气浮运动系统, 是一种能克服接触摩擦和行程限制的新型精密定位
系统. 针对系统中用于精密定位的音圈电机受到内外扰动从而影响系统最终定位精度的问题 …
系统. 针对系统中用于精密定位的音圈电机受到内外扰动从而影响系统最终定位精度的问题 …