Design, fabrication, and complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) integration of micro-electro-mechanical systems (MEMS) humidity sensors

T Saha - 2013 - escholarship.mcgill.ca
La conception, le microfabrication, et l'intégration de CMOS des sondes capacitives micro-
électro-mécaniques d'humidité des systèmes (MEMS) sont présentés dans ce travail …
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Design, Fabrication, and CMOS Integration of MEMS Humidity Sensors

T Saha - 2012 - library-archives.canada.ca
Abstract" The design, microfabrication, and CMOS integration of micro-electro-mechanical
systems (MEMS) capacitive humidity sensors are presented in this work. Theoretical …