Polarization characteristics of state-of-art lithography optics reconstructed from on-body measurement
T Fujii, J Kogo, K Suzuki… - Optical Microlithography …, 2008 - spiedigitallibrary.org
In hyper-NA imaging, the vector properties of the light become important. Therefore, to
characterize and to fully exploit the state-of-the-art lithographic apparatus, reconstruction of …
characterize and to fully exploit the state-of-the-art lithographic apparatus, reconstruction of …
Matrix method for calculating polarization aberrations
AL Sokolov - Journal of Optical Technology, 2008 - opg.optica.org
A matrix method for calculating the polarization aberrations of light beams is discussed in
detail. The radiation is represented as a coherent collection of Hermite-Gauss modes with …
detail. The radiation is represented as a coherent collection of Hermite-Gauss modes with …
Матричный метод расчета поляризационных аберраций
АЛ Соколов - Оптический журнал, 2008 - elibrary.ru
Подробно излагается матричный метод для расчета поляризационных аберраций
световых пучков. Излучение представляется когерентной совокупностью мод Эрмита …
световых пучков. Излучение представляется когерентной совокупностью мод Эрмита …
[PDF][PDF] Laser beams with periodic polarization properties.
AL Sokolov - Optics & Spectroscopy, 2008 - researchgate.net
Thus, the plane of oscillations of the vector E rotates during the propagation of a light beam.
A certain orientation of the plane of oscillations of the vector E (the azimuth) corresponds to …
A certain orientation of the plane of oscillations of the vector E (the azimuth) corresponds to …
Coating-induced wavefront aberrations
D Doering, K Forcht - Optical Design and Engineering III, 2008 - spiedigitallibrary.org
The antireflection coatings which are used on lenses and other optical interfaces can have a
profound effect on the image quality formed by an optical system. This paper evaluates the …
profound effect on the image quality formed by an optical system. This paper evaluates the …
Polarization aberrations caused by fold mirrors in optical systems
Y Zhang, L Li, H Zhao - International Symposium on …, 2008 - spiedigitallibrary.org
A unified discussion of the polarization aberration theory is presented and Jones arithmetic
is studied to calculate the polarization aberrations caused by coated fold mirrors in optical …
is studied to calculate the polarization aberrations caused by coated fold mirrors in optical …
Beams with periodical variation of polarization state
AL Sokolov, DS Zozulya - … of SPIE, the International Society for …, 2008 - spiedigitallibrary.org
PROCEEDINGS OF SPIE Page 1 PROCEEDINGS OF SPIE SPIEDigitalLibrary.org/conference-proceedings-of-spie
Beams with periodical variation of polarization state Andrey Sokolov, Denis Zozulya Andrey …
Beams with periodical variation of polarization state Andrey Sokolov, Denis Zozulya Andrey …
ЛАЗЕРНЫЕ ПУЧКИ С ПЕРИОДИЧЕСКИМИ ПОЛЯРИЗАЦИОННЫМИ СВОЙСТВАМИ
АЛ Соколов - Оптика и спектроскопия, 2008 - elibrary.ru
Рассмотрена возможность создания пучков с периодическими поляризационными
свойствами в продольном направлении. БИБЛИОМЕТРИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ …
свойствами в продольном направлении. БИБЛИОМЕТРИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ …
[引用][C] Лазерные пучки с аксиальной поляризационной структурой
АЛ Соколов, ДС Зозуля - Вестник Московского энергетического …, 2008 - elibrary.ru
Рассматриваются основные свойства и характеристики пучков с аксиальной
поляризационной структурой, а также их возможное применение.
поляризационной структурой, а также их возможное применение.