[PDF][PDF] Оптимизация параметров лазерного раскалывания кварцевого стекла

ЮВ Никитюк, АН Сердюков… - … физики, математики и …, 2021 - researchgate.net
РЕПОЗИТОРИЙ ГГУ ИМЕНИ Ф. СКОРИНЫ Page 1 Проблемы физики, математики и
техники, № 4 (49), 2021 ISSN 2077-8708 © Никитюк ЮВ, Сердюков АН, Аушев ИЮ, 2021 21 …

Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники

АП Достанко, НВ Богуш, СВ Бордусов… - 2021 - elibrary.ru
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области
формирования контактно-барьерных структур в изделиях субмикронной электроники и …

[HTML][HTML] Структура планарной поверхности кремниевых пластин до и после быстрой термообработки

ВА Пилипенко, АА Сергейчик… - Приборы и методы …, 2024 - cyberleninka.ru
На сегодня важной задачей при создании современных изделий микроэлектроники
является устранение на поверхности пластин механически нарушенного слоя. Быстрая …

Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров

Н Вилья, ДА Голосов, СН Мельников, ТД Нгуен… - 2020 - libeldoc.bsuir.by
В результате исследований процессов реактивного магнетронного распыления Ta
мишени в среде Ar/O2 рабочих газов установлено, что формирование диэлектрических …

Магнетронная распылительная система с вращающейся магнитной системой для нанесения тонких пленок на стационарную подложку

ВТА Нгуен - 2023 - libeldoc.bsuir.by
В данной статье приведены основные конструктивные особенности магнетронной
системы, влияющие на скорость и качество распыления, способствуя увеличению …

[HTML][HTML] Оптимизация параметров двухлучевой лазерной очистки кварцевого сырья

ВА Емельянов, ЕБ Шершнев, ЮВ Никитюк… - Доклады …, 2022 - cyberleninka.ru
При помощи численного моделирования установлены значения технологических
параметров, обеспечивающих эффективную двухлучевую лазерную очистку кварцевого …

Анализ особенностей работы средств контроля субмикронных структур изделий электронной техники

ТВ Кабак - 2023 - libeldoc.bsuir.by
Контроль технологических этапов формирования изделий полупроводниковой техники
может производится посредством анализа комплекта полученных изображений …

Проблемы физики, математики и техники

ВА Емельянов, ЕБ Шершнев, ЮВ Никитюк… - … И ТЕХНИКИ Учредители … - elibrary.ru
С применением генетического алгоритма MOGA программы ANSYS Workbench
проведена оптимизация параметров лазерной резки алмазов. Конечно-элементный …

Формирование функционального слоя интегральной микросхемы реактивно-ионным травлением

ВВ Емельянов - 2022 - libeldoc.bsuir.by
Путем экспериментальных исследований получен процесс селективного реактивно-
ионного травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию, позволяющий …

Проблемы физики, математики и техники

ЮВ Никитюк, АН Сердюков, ВА Прохоренко… - … И ТЕХНИКИ Учредители … - elibrary.ru
Проведена оптимизация параметров резки силикатного стекла потоком горячего
воздуха с использованием генетического алгоритма MOGA в модуле DesignXplorer …