[PDF][PDF] 计算成像技术在光学检测领域的研究进展
林星羽， 于瀛洁 - 仪器仪表学报, 2022 - jemi.cnjournals.com
成像系统在利用传感器记录图像信息时, 只记录了强度信息而丢失了重要的相位信息.
传统的干涉相位恢复技术由于需要满足严格的干涉条件, 在使用过程中受到一定限制 …
传统的干涉相位恢复技术由于需要满足严格的干涉条件, 在使用过程中受到一定限制 …
[PDF][PDF] 集成电路制造在线光学测量检测技术: 现状, 挑战与发展趋势
陈修国， 王才， 杨天娟， 刘佳敏， 罗成峰… - Laser & Optoelectronics …, 2022 - researching.cn
摘要在线测量检测技术与装备是保证集成电路(IC) 制造质量和良率的唯一有效技术手段, 在IC
制造过程中必须对IC 纳米结构的关键尺寸, 套刻误差, 以及缺陷等进行快速, 非破坏 …
制造过程中必须对IC 纳米结构的关键尺寸, 套刻误差, 以及缺陷等进行快速, 非破坏 …
Single-shot ptychography based on spatial light modulator multi-angle modulation
X Long, L Rong, H Lin, Y Wang, J Zhao… - Thirteenth …, 2022 - spiedigitallibrary.org
Ptychography is a lensless, wide-field, diffraction imaging method that can reconstruct the
object transmittance function and the probe distribution simultaneously. Traditionally, lateral …
object transmittance function and the probe distribution simultaneously. Traditionally, lateral …