Исследование стойкости слоев поликремния в КНИ-структурах при воздействии электронного облучения и сильного магнитного поля
ЮН Ховерко - Технология и конструирование в электронной …, 2010 - dspace.nbuv.gov.ua
Исследованы свойства рекристаллизированных слоев поликремния на изоляторе р-
типа проводимости, облученных высокоэнергетическими электронами, в …
типа проводимости, облученных высокоэнергетическими электронами, в …