Micromachined piezoelectric Lamb wave resonators: a review
With the development of next-generation wireless communication and sensing technologies,
there is an increasing demand for high-performance and miniaturized resonators …
there is an increasing demand for high-performance and miniaturized resonators …
Monolithic multiband MEMS RF front-end module for 5G mobile
H Campanella, Y Qian, CO Romero… - Journal of …, 2020 - ieeexplore.ieee.org
This work reports a monolithic RF front-end module integrating bulk acoustic wave (BAW)
filters, Lamb acoustic wave filters, and electronic RF silicon-on-insulator (RFSOI) switches to …
filters, Lamb acoustic wave filters, and electronic RF silicon-on-insulator (RFSOI) switches to …
An 8-inch commercial aluminum nitride MEMS platform for the co-existence of Lamb wave and film bulk acoustic wave resonators
TH Hsu, SS Tung, YM Huang, GL Wu… - Journal of …, 2023 - iopscience.iop.org
This work investigates a co-design approach for fundamental symmetric Lamb wave (S 0)
resonators (LWR) and film bulk acoustic wave resonators (FBAR) in a commercial 8-inch …
resonators (LWR) and film bulk acoustic wave resonators (FBAR) in a commercial 8-inch …
Large piezoelectric response and ferroelectricity in Li and V/Nb/Ta co-doped w-AlN
M Noor-A-Alam, OZ Olszewski… - … Applied Materials & …, 2020 - ACS Publications
Enhancement of piezoelectricity in w-AlN is desired for many devices including resonators
for next-generation wireless communication systems, sensors, and vibrational energy …
for next-generation wireless communication systems, sensors, and vibrational energy …
3D monolithic integration of ScAlN-based GHz MEMS acoustic filters on 200mm RFSOI wafer
Y Zhang, X Wang, C Liu, EYZ Woo… - 2022 International …, 2022 - ieeexplore.ieee.org
A wafer-level 3D monolithic integration of the scandium aluminum nitride (ScAlN) based
radio frequency (RF) bulk acoustic wave (BAW) filters with RF silicon-on-insulator (RFSOI) …
radio frequency (RF) bulk acoustic wave (BAW) filters with RF silicon-on-insulator (RFSOI) …
Nonlinear Performance of Monolithically Integrated Scaln-Based Ghz Acoustic Filters With Rfsoi Switches
C Liu, Y Zhang, X Wang, W Yang… - … Conference on Solid …, 2023 - ieeexplore.ieee.org
In this work, a comprehensive nonlinear characterization, including the 2nd order harmonic
emission (H2) and the 3rd order intermodulation distortion (IMD3), has been performed on …
emission (H2) and the 3rd order intermodulation distortion (IMD3), has been performed on …
Co-conception de dispositifs hyperfréquences et de leurs éléments d'accord
C Le Lez - 2023 - hal.science
Cette thèse présente une avancée vers des fonctions hyperfréquences accordables tout
intégrées sur substrat semiconducteur. L'utilisation de diodes intégrées co-conçues avec les …
intégrées sur substrat semiconducteur. L'utilisation de diodes intégrées co-conçues avec les …
Co-conception de dispositifs hyperfréquences et de leurs éléments d'accord: vers des systèmes agiles tout-intégrés sur substrat semiconducteur
C Le Lez - 2023 - theses.hal.science
Cette thèse présente une avancée vers des fonctions hyperfréquences accordables tout
intégrées sur substrat semi-conducteur. L'utilisation de diodes intégrées co-conçues avec …
intégrées sur substrat semi-conducteur. L'utilisation de diodes intégrées co-conçues avec …