新型氮化铝 MEMS 声压传感器技术

[引用][C] 基于超小GRIN 光纤镜头的MEMS 光纤声传感器及性能测试方法

王驰， 陈伟， 孙建美， 郑园成… - Optics and Precision …, 2022 - 光学精密工程编辑部
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