Рассмотрены схемы замещения емкостного микромеханического гироскопа и проведен
анализ используемых схем измерительных преобразователей. С целью исключения …

Актуальность и цели. Потребность в увеличении количества информации о состоянии
технологического процесса привела к необходимости рассмотрения параметрических …

Рассмотрены варианты многоэлементных схем замещения параметрических
преобразователей ёмкостных датчиков. Использование фазового разделения каналов …

Рассмотрены измерительные цепи дифференциальных емкостных параметрических
преобразователей, предназначенных для съема информации о колебаниях …

Предлагается использовать измерительные цепи емкостных датчиков с фазовым
разделением каналов, в которых тест-сигналы описываются периодическими кусочно …

Рассматриваются вопросы оптимизации электродной структуры микромеханических
гироскопов (в частности, конфигурации электродов канала вторичных колебаний …

Приведено описание процесса анализа схем замещения чувствительных элементов
МЭМС гироскопов RR типа. Рассмотрены методы сокращения погрешности …