В статье исследуется влияние на картину дифракции субволновых деталей
микрорельефа при двух различных способах травления: позитивном и негативном …

The paper deals with the influence of subwavelength details with two types of etching of
microrelief (ridge and groove) on the diffraction pattern. Modeling the diffraction of uniform …

Интенсивное развитие информационных систем, систем телекоммуникаций,
вычислительной техники, микромеханических систем выдвигает возрастающие …

Ключевым моментом развития микроэлектроники является уменьшение минимального
характеристического размера или увеличение разрешающей способности …