Silicon nitride films were deposited by ion-assisted pulsed DC reactive magnetron
sputtering, where the regulation of power on the refractive index was emphasized. The …

Silicon oxynitride (SiO x N y) thin films were synthesized via reactive direct current
magnetron sputtering under different reactive gas mass flow ratios (O 2: N 2) and discharge …

Silicon nitride's excellent electronic and optical properties have positioned it as an
indispensable element in silicon-based photonic platforms and photonic quantum …

Reactive sputtering is a very useful technique, particularly, for producing inhomogeneous
interference filters, where the refractive index changes smoothly during deposition. In such a …

Este trabajo se centra en el análisis, diseño y síntesis de filtros ópticos inhomogéneos
sintetizados por la técnica de pulverización catódica reactiva. Estos filtros comúnmente se …

Uno de los mayores intereses de la comunidad científica ha sido aprovechar al máximo las
propiedades de los materiales para potenciar el desarrollo científico, tecnológico e …

En la industria del vidrio, los recubrimientos con películas delgadas pueden brindar
distintas funciones como filtros antirreflejantes, de autolimpieza y de ahorro energético. Este …