Comparison of high-k Y2O3/TiO2 bilayer and Y-doped TiO2 thin films on Ge substrate
Abstract Y 2 O 3/TiO 2 bilayer thin films and Y-doped TiO 2 (YTO) thin films were deposited
on a Ge substrate by atomic layer deposition at a substrate temperature of 250 C. They were …
on a Ge substrate by atomic layer deposition at a substrate temperature of 250 C. They were …
[PDF][PDF] Deposition of Thin Y 2 O 3: Eu Films by Radio-Frequency Sputtering.
ОМ Bordun, ІО Bordun, ІМ Kofliuk… - Nanosistemi …, 2022 - imp.kiev.ua
Досліджено залежність швидкости нанесення тонких плівок Y2O3: Eu за ВЧ-
розпорошення від тиску та складу робочого газу. Встановлено наявність оптимального …
розпорошення від тиску та складу робочого газу. Встановлено наявність оптимального …