Multiscale modeling in chemical vapor deposition processes: models and methodologies
Chemical vapor deposition (CVD) is an established process for the production of thin solid
films for industrial and scientific applications for more than 30 years. CVD is a multiscale …
films for industrial and scientific applications for more than 30 years. CVD is a multiscale …
Multiscale modeling of low pressure plasma etching processes: linking the operating parameters of the plasma reactor with surface roughness evolution
S Mouchtouris, G Kokkoris - Plasma Processes and Polymers, 2017 - Wiley Online Library
Α multiscale modeling framework, linking the operating parameters of a low pressure
plasma reactor with the surface roughness being formed on the etched substrate, is …
plasma reactor with the surface roughness being formed on the etched substrate, is …
A multi-parallel multiscale computational framework for chemical vapor deposition processes
A multiscale computational framework for coupling the multiple length scales in chemical
vapor deposition (CVD) processes is implemented for studying the effect of the prevailing …
vapor deposition (CVD) processes is implemented for studying the effect of the prevailing …
Designing Non‐uniform Wafer Micro‐topography for Macroscopic Uniformity in Multi‐scale CVD Processes
N Kallikounis, G Kokkoris, N Cheimarios… - Chemical Vapor …, 2014 - Wiley Online Library
The potential of an additional degree of freedom (DOF) in the effort to meet film or deposition
rate uniformity along the wafer in CVD processes is investigated. The investigation applies …
rate uniformity along the wafer in CVD processes is investigated. The investigation applies …
Σχεδιασμός ομοιόμορφων υμενίων μέσω υπολογισμών πολλαπλών χωρικών κλιμάκων σε διεργασίες χημικής απόθεσης από ατμό
ΝΓ Καλλικούνης - 2014 - dspace.lib.ntua.gr
Στην παρούσα εργασία μελετάται η ανάπτυξη υμενίων, μέσω της διεργασίας της χημικής
απόθεσης από ατμό, σε δισκία με μικρο-τοπογραφία. Το ομοιόμορφο πάχος των υμενίων σε …
απόθεσης από ατμό, σε δισκία με μικρο-τοπογραφία. Το ομοιόμορφο πάχος των υμενίων σε …
Multiscale modeling and systemic analysis of chemical vapor deposition processes
N Cheimarios - 2nd ECCOMAS Young Investigators Conference (YIC …, 2013 - hal.science
. Two multiscale computational frameworks are proposed for coupling/linking the co-existing
scales in chemical vapor deposition (CVD) processes: From the macro-scale of a CVD …
scales in chemical vapor deposition (CVD) processes: From the macro-scale of a CVD …
Παραμετρική ανάλυση λειτουργίας αντιδραστήρα χημικής απόθεσης πυριτίου από ατμό
ΑΠ Τρικουράκη - 2012 - dspace.lib.ntua.gr
Η χημική απόθεση από ατμό ΧΑΑ,(chemical vapor deposition-CVD) είναι μια ευρέως
χρησιμοποιούμενη μέθοδος για την παραγωγή στερεών λεπτών υμενίων σε ειδικά …
χρησιμοποιούμενη μέθοδος για την παραγωγή στερεών λεπτών υμενίων σε ειδικά …