Study on Lamb wave propagation in single crystal silicon wafer using large aperture line focusing ultrasonic transducer
In this experiment,[100].[110] and [111] single crystal silicon wafers were interrogated by line
focused ultrasonic transducer with large aperture. Lamb waves generated in the wafers …
focused ultrasonic transducer with large aperture. Lamb waves generated in the wafers …
대구경선집속초음파탐촉자를이용한실리콘판재의결정방향측정
오재원， 정인영， 한규범， 김동현， 김영환 - 비파괴검사학회지, 2017 - dbpia.co.kr
램파 (Lamb wave) 는 주파수, 파의 두께, 입사각에 따라 다양한 모드가 존재한다. 본 연구에서는
이방성 재료인 (100),(110),(111) 실리콘 판재에서 초음파의 진행방향에 따른 전파 특성에 …
이방성 재료인 (100),(110),(111) 실리콘 판재에서 초음파의 진행방향에 따른 전파 특성에 …