В учебном пособии рассмотрены вопросы актуальных областей применения МЭМС и
датчиков, созданных на основе микротехнологий, основные материалы …

З початку 90-х років XX ст. глобальним науково-технічним напрямком, який
найбурхливіше розвивається, є «мікросистемна техніка». У рамках даного напрямку …

The paper considers features of bulk and surface chemical processing of plates and the
formation of a photoresist mask in the creation of MEMS. The requirements for technological …

Разработаны алгоритм и математическая модель устройства электромеханического
композитного микроробота. Для описания ее силовой характеристики использована …

Учебное пособие посвящено сравнительно новому и перспективному типу
коммутационных приборов—микроэлектромеханическим (МЭМС) коммутаторам …

В настоящее время в электронике ученые стараются перейти от микроуровня к нано. С
развитием такого направления, как наноэлектроника требуются усовершенствование …

Актуальной задачей зондовой микроскопии является разработка и оптимизация
конструктивно-технологических решений, специализированных кантилеверов под …

в работе рассматривается задача имитационного моделирования инерциальных и
магнитных датчиков в системах виртуального окружения. Для решения этой задачи …

Построение большинства систем с элементами космического базирования включает в
себя применение радиосредств. В некоторых случаях, например при решении задач …

Аннотация в работе рассматривается задача имитационного моделирования
инерциальных и магнитных датчиков в системах виртуального окружения. Для …