摘要为了实现极紫外光刻光源驱动激光光斑位置的高精度, 宽范围, 快响应检测,
设计了一种高重复频率窄脉冲信号多通道同步采集处理电路, 并提出了基于高斯光斑模型的二级 …

摘要引力波探测激光干涉仪对四象限探测器性能提出了较高的技术要求. 为了提升四象限探测器
光斑位置检测精度, 搭建四象限探测器相干探测仿真系统, 构建位置检测数学模型 …

摘要光刻机利用调焦调平测量系统实现对硅片形貌的精密测量, 是实现高质量曝光的关键.
基于光学三角法实现硅片形貌测量的调焦调平测量技术是目前主流光刻机厂商普遍采用的技术 …

光斑检测技术在现代科学研究与应用中扮演着重要角色, 四象限探测器由于其具有探测灵敏度高
, 信号处理简单和抗干扰能力强等优点, 在光斑检测技术中得到了广泛的应用, 是捕获 …

摘要为满足激光通信系统跟踪精度的要求, 采用快速反射镜系统作为精跟踪控制核心.
选用大行程, 高分辨率, 高带宽的音圈电机驱动快速反射镜, 对音圈电机控制方法进行了研究 …

为了实现空间光通信系统小型化, 一体化设计, 建立了基于阵列探测器和快速偏转镜的一体化
跟踪系统, 通过分析阵列探测器的光斑位置检测原理提出了一种归心算法. 首先通过设置阈值 …

为解决二维角位移高精度精密测量的问题, 研究了一种基于QPD 的二维角位移测量方法. 以LED
作为光源, 低暗电流, 高灵敏度的四象限光电探测器作为检测元件, 采用光学杠杆式的测角方法 …

摘要为提高激光跟踪精确度, 采用相位法改进激光跟踪系统, 发射机采用正弦信号调制激光功率,
接收电路采用四象限雪崩光电二极管(APD) 检测激光回波, 通过快速傅里叶变换(FFT) …

In order to realize the miniaturization and integration design of space optical communication
system, an integrated tracking system based on the array detector and the fast deflection …