Influence of the reference surface and AFM tip on the radius and roundness measurement of micro spheres
E Oertel, E Manske - Measurement Science and Technology, 2023 - iopscience.iop.org
The performance of tactile and optical surface sensors for nano and micro coordinate
measuring machines is currently limited by the lack of precisely characterised micro …
measuring machines is currently limited by the lack of precisely characterised micro …
Using micro spheres as reference artifacts for the in-situ characterization of tactile 3D micro probes along the probing sphere's equator
E Oertel, E Manske - tm-Technisches Messen, 2024 - degruyter.com
Nano and micro coordinate measuring machines (CMMs) have been developed for the
characterization of small dimensional features. They require a procedure which enables a …
characterization of small dimensional features. They require a procedure which enables a …
[HTML][HTML] Charakterisierung von Mikrokugeln auf der Basis von AFM-Oberflächenscans
E Oertel - 2024 - db-thueringen.de
Die im Rahmen dieser Arbeit entwickelte Strategie ist für die Charakterisierung von
Mikrokugeln geeignet. Sie wurde an Kugeln mit Radien von 60 µm, 100 µm und 150 µm …
Mikrokugeln geeignet. Sie wurde an Kugeln mit Radien von 60 µm, 100 µm und 150 µm …